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机译:设计,制造和测试高性能硅压阻Z轴加速度计,其质量边缘对齐弯曲度得到验证
机译:具有质量边缘对齐挠曲性的高性能硅压阻Z轴加速度计的设计,制造和测试
机译:利用湿各向异性蚀刻实现具有质量边缘对齐挠曲性的硅压阻式加速度计的实现
机译:首款3D打印和湿式金属化z轴加速度计的设计,制造和测试
机译:微机械硅振荡加速度计的设计,制造和测试
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:单一(111)-Silicon晶片中单整体集成的三轴高冲击仪的整体集成三轴高冲击仪的设计,制造和测试
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试