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第五届全国微米/纳米技术学术会议

召开年：2001
召开地：重庆
出版时间： 2001-10-01

主办单位：国家自然科学基金委员会;科技部;解放军总装备部;清华大学;重庆大学

会议文集：压电与声光2001第23卷5增刊

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1.泳动微机器人主体机构的设计研究
- 钟映春;谭湘强;杨宜民
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：泳动微机器人模仿鱼类游泳的方式驱动.利用柔性铰链和差式杠杆放大原理,设计了泳动微机器人主体机构;为了获得足够的推进力,实现二自由度泳动,必须使微机器人工作在谐振状态,因此文章还计算了微机器人主体机构的固有频率.
2.微型光谱仪光学系统的计算机模拟
- 杨桂荣;温志渝;陈刚;蒋子平;李星海;温中泉
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：分析了微型光谱仪分光、成像系统的相关基础理论及主要参数,对一种微小型光纤光谱仪的光谱线性度、光谱带宽、光谱与成像面的夹角和光谱能量分布等主要参数进行了模拟,模拟结果与实验结果较好的符合.
3.用于便携式通信设备的集成微带天线
- 巫正中;钟先信;肖沙里;潘武;陈文涛;吴占民
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：介绍了用便携通信设备的新型集成微机械微带天线的特性及应用,讨论了参数的优化方案,这种天线可广泛用于个人通信系统、蓝牙通信、RF-home及蜂窝移动电话等无线通信领域.
4.微机械RF谐振器的机电仿真分析
- 潘武;钟先信;巫正中;陈文涛;李晓毅
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：利用有限元仿真技术对微机械谐振器的力学特性进行了模拟.利用所得的谐振梁有效质量和有效弹簧常数,建立微机械谐振器的等效电路,并对谐振器的频率响应特性进行仿真.仿真结果与相关的测试结果符合得较好.
5.基于加权残值法的MEMS系统级仿真建模
- 孙道恒;陈永明;李文望
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节.本文提出用加权残值法(MWR)建立MEMS系统级仿真模型,介绍MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法.由于MWR独特的优点,可以克服目前MEMS建模方法存在的缺点,非常适合MEMS建模,MWR有可能成为MEMS系统级仿真建模的统一理论和方法.
6.微机械SiN梁非线性振动特性研究
- 陈德勇;崔大付;王利;于中尧
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：利用MEMS技术研制了用于高精度谐振式压力传感器的SiN梁谐振器.器件采用电热激动、压阻拾振方式.本文阐述了SiN谐振器的结构、制作工艺,并通过开环频扫方法测定了SiN梁的线性及非线性振动频响特性.低真空下谐振器Q值接近7000,高真空下可达到40000.当激励足够大时,谐振器呈现非线性硬弹簧频响特性.
7.谐波法设计SAW射频滤波器的计算机模拟
- 祝侃;王占和;陈越洋
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：首先简述了通过改变叉指电极的结构,可以激发声表面波的高次谐波,使滤波器工作在高次谐波上,可以降低制作叉指电极的光刻工艺难度.同时提出了一种利用叉指电极的等效电路来计算叉指电极频率响应的方法,此方法可以灵活简便地应用于多种结构的叉指电极的设计过程,并给出了计算机的模拟结果.
8.压电智能板的传感器与驱动器优化布置
- 邱志成;张洪华
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：针对悬臂矩形板的挠性结构进行模态分析,根据压电传感片与检测扭转模态剪应变之间的关系来布置压电敏感器的倾斜角.根据压电敏感器的传感方程,采用压电传感片与压电致动片同位配置的独立模态控制方法,通过优化计算使模态传感器的观测溢出最小给出了压电敏感片的位置优化配置.
9.含微混合器的微结构芯片对化学反应的研究
- 徐溢
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：微型化分析系统是分析化学的新兴研究领域,本文探讨了化学发光反应在微芯片上的实现和反应特征,对Cr<'3+>/1uminol-H<,2>O<,2>的化学发光体系进行定量分析,表明该设计的微芯片可应用于化学反应过程的定量测试.该微结构在化学与生化分析和环境检测领域具有巨大的潜在应用价值.
10.MEMS可变式光衰减器的研究现状及其在全光网中的应用
- 戴旭涵;赵小林;蔡炳初;李文军
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：全光通信网的功率管理对光衰减器的体积,成本,工作方式都提出了较高的综合性能要求.基于MEMS技术的可变式光衰减器充分结合了微机械、微电子、微光学的性能特点,最有希望满足上述综合性能要求,具有广阔的市场前景.文章介绍了目前这一领域的研究现状,探讨了MEMS可变式光衰减器典型的全光网应用方案.
11.真空微电子压力传感器及其特性研究
- 夏善红;陈绍凤
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优点及其发展阐述了个人观点.
12.SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作
- 刘素艳;卜敏强;叶雄英;周兆英
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩展为大规模光开关阵列等特点.该光开关利用残余应力使垂直微镜的氮化硅/多晶硅微梁翘离基底,在静电力作用下,微梁带动微镜移动以切换开关状态.本文对光开关的主要力学参数进行了仿真计算,与实验结果基本一致.
13.真空微电子压力传感器研究
- 陈绍凤;夏善红;白强;张建刚
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.
14.用于生物芯片的微光学集成探测器
- 杨蓉;何庆声;余成武;邬敏贤;金国藩
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：作为便携式生物化学分析器的核心技术,生物芯片在近十年中发展非常迅猛.它通过微加工和生化处理等技术,将成千上万的生命信息集成在很小的芯片上,在芯片上进行一系列生化反应,并通过检测结果获得相关信息.生物芯片发展的最终目标是将从样品制备、化学反应到检测的整个生化分析过程集成化以获得所谓的微全分析系统或称缩微芯片实验室.文章提出一种在微全分析系统中担任探测功能的微光学集成探测器.该探测器是基于激光诱导荧光探测原理,光束经耦合光栅进入平面导波层照射标记了荧光染料的样品,被激发的荧光由微透镜阵列组收集并会聚到探测面,并与一特殊设计的微腔集成,实现生化反应与在线探测.该探测器集成度高,探测灵敏,功能全,成本低,可以应用于中等密度的DNA点阵杂交芯片等生物芯片的探测,有希望集成到如便携式DNA突变诊断仪等微全分析系统中.
15.硅压阻式棉条检测传感器研制及性能测试
- 蒋庄德;赵玉龙;赵立波
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：提出了适用于纺织机械中的并条机前纺设备的棉条在线检测及纺织质量检测的一种压阻式棉条检测传感器.给出了传感器的结构模型和实测数据.在棉条质量检测上,具有精度高、线形度好、灵敏度高及动态性能好等特点.能适应快速并条机的棉条检测.
16.微装配系统研究
- 曹长江;巴麟;张琛
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：设计并实现了一微装配系统,该系统采用了独特的微型运输机器人和微型装配机器人,设计实现了微型压电镊子作为机器人的微操作手,同时还利用压电悬臂梁结构设计了一微型移动平台,宏、微视觉系统的建立为微型装配工作的实现提供了参数采集.系统的建立为开展微器件的自动装配研究提供了一优良的实验平台.
17.LIGA技术中微复制工艺的研究
- 张卫平;陈文元;陈迪;陈晓梅;吴校生;徐正福
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在HEX01/T-A真空模压系统下对多种高分子材料和不同的图形进行了多次微复制试验,获得了PC、PMMA、结晶POM、PS、PVC材料优化的模压参数,并在这些材料上获得了不同图形的高深宽比的微结构.
18.提高MEMS侧壁陡度的一种新方法
- 余国彬;姚汉民;胡松
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：随着微型机电系统(MEMS)的迅速发展,对生产MEMS的微细加工设备的需求也越来越大.本文重点介绍深度光刻机中的掩模和硅片间的菲涅耳衍射对侧壁陡度的影响,以及运用一种微阵列积分镜去平滑菲涅耳衍射效应,从而提高MEMS的侧壁陡度,最后给出了实验的结果.
19.石英微机械惯性器件及其应用
- 吕志清;张巧云;林日乐;张挺
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英微机械加速度计的工作原理、结构、加工工艺和主要性能,简要介绍了它们的应用.
20.新型纳米器件——共振隧穿二极管的研究
- 郭维廉;牛萍娟;梁惠来;张世林;赵振波
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：共振隧穿二极管(Resonant Tummeling Diode)是一种基于量子隧穿现象的新型纳米器件.文章采用分子束外延技术,生长了两种AlAs/GaAs/InGaAs/AlAs材料结构来制作共振隧穿二极管(RTD),首次在国内研制成功能在常温下工作的RTD,室温电流峰谷比达到了5:1.把RTD具有物理意义的电流-电压方程通过PSPICE的电压控制电流源建立起电路模型,并以此为基础模拟出了以RTD为驱动器,以电阻本身为负载的电路双稳态特性.为了分析其交流特性,使用微波探针和HP 8510C网络分析仪在45 MHz到26.5GHz的频率范围内对管芯进行了在片测试,结果显示其最高振荡频率为26.5GHz,并通过拟合的方法提取了基等效电路参数.
21.光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器初探
- 吴茂松;杨春生;茅昕辉;赵小林;蔡炳初
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：可变光衰减器(VOA)是光纤通信系统中重要的无源器件之一.采用MEMS技术的可变光衰减器,从实现光衰减的机制上分,主要有平面波导型、光路遮挡型、微镜倾斜型和MARS型等.文章提出了一种新的类型——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器,主要由光纤定位结构、固定光纤、可偏移光纤和微执行器组成.理论分析表明这种MEMS可变光衰减器不仅可行,而且具有衰减范围大、衰减精度高、插入损耗小、回损大、与传输光波长、偏振无关、可在单片上制造阵列等优点.
22.纳米材料对敏感陶瓷性能的影响
- 杨邦朝;禹争光
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：提出一种适用于制备电子敏感原料的陶瓷纳米复合材料的方法,以及采用粒子流对撞法制备出压敏电阻配方的纳米复合材料,按压敏电阻常规工艺(无球磨)生产烧结后,与机械球磨制备的压敏电阻对比表明:元件通流能力、耐雷电压性能都有提高,产品成品率增加.
23.PCR芯片技术
- 陈伟平;刘晓为
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：对基于微机械加工的PCR(聚合酶链式反应)芯片技术进行了综述.PCR可对特定DNA序列进行大规模的体外扩增,是基因分析的重要技术手段.与商业PCR热循环设备相比,PCR芯片尺寸极小、价格低廉,扩增速度快,是一种可望取代PCR热循环仪的新型LOC(Lab-On-Chip).微井式PCR芯片制作工艺简单,芯片尺寸小,微流式PCR芯片热循环稳定、可连续扩增,集成的PCR芯片可在单芯片上实现扩增分离等多种功能.
24.阳极键合中键合强度及键合变形的研究
- 蒋军彪;王小斌;樊红安;魏芳林;冯培德
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：主要研究了阳极键合过程中键合强度与键合温度、键合电压、键合晶片的平整度和表面粗糙度、晶片表面清洁度、玻璃片厚度及表面亲水性等的关系,对键合引起的变形和减小变形的热处理工艺进行了研究,得到了理想的微机械键合结构.
25.新型层叠式微机械微带天线的研究
- 巫正中;钟先信;潘武;陈文涛;徐道连
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：研究了一种新型硅-空气复合基底层叠短接式微机械贴片天线,采用微机械工艺和有效的宽带化技术制造的天线长度只有1/8波长,带宽达到了8﹪.
26.微探针式六维力传感器原理与力学分析
- 熊小义;梅涛;孔德义;李科;陈永
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：提出一种基于硅压阻效应并能够采用MEMS技术制作的微探针式六维力传感器,它具有成本低、尺寸小、精度高的优点.文中分析了微探针式六维力传感器在受力情况下的应力状态,进而阐述了它的工作原理.该传感器的尺寸拟定为3mm×1mm×0.5mm.
27.体内微机器人的驱动方式探讨:有线还是无线?
- 孔德义;梅涛;陈永;熊小义;李科;虞承端
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：在对微型机器人技术的研究中,对于微型机器人尺寸不断减小后其能源供给方式的研究相对滞后.目前大部分微型机器人均采用外接引线方式工作,其固有的机动性差及对人体不够安全等缺点限制了这类微型机器人在人体中的应用.我们通过对外场驱动的水下微型机器人的研究,发现磁场是一种十分有效且对人体非常安全的外场,可用来驱动在人体中工作的微型机器人,这将使未来无线型体内微型机器人的诞生成为可能.
28.新型压阻式CMOS集成加速度计的研制
- 贾景彬;刘蓓;张威;李婷;张大成
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：主要论述了一种具有温度补偿的新型高精度、高过载复合硅加速度计的结构及工作原理,并对研制这种集成加速度计的关键工艺艺以及与之集成的CMOS电路部分进行了探讨.
29.多质量与单质量三轴硅传感器
- 彭勃;胡军;吴嘉丽;苏伟
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：针对两类三轴硅加速度传感器,文中从结构、工作机理到制作工艺过程都作了详尽的剖析.从公布的测试结果来看,多质量三轴技术所受限制较少,易满足大量程、抗干扰的要求;而单质量三轴设计体积优化,适合小量程或是对异轴灵敏度要求较底的场合.
30.悬浮转子式微陀螺的研究
- 陈文元;吴校生;张卫平;赵小林;陈晓梅
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：利用二组数个独特的平面线圈产生的电磁感应力和静电驱动力,能使微小转子浮起与稳定,并借助于移相电路使转子转动,加上集成在二组平面线圈之间的4个电容传感电极构成了悬浮转子二自由度微陀螺.本文作者阐述了该微陀螺的原理、构成及难点.
31.R相变驱动的TiNi/Si复合泵膜的研究
- 程秀兰;陈鉴;徐东;蔡炳初;丁桂甫;王莉
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：TiNi形状记忆合金薄膜微驱动器是微机电系统(MEMS)中研究应用的一个重要方向.对于富Ti薄膜,由于其R相变的热滞极小,有助于改善驱动膜的频响特性.本文采用常规微细加工的方法制备了这种具有R相变的TiNi/Si复合泵膜,并对其工作特性进行了测试.研究表明:TiNi薄膜的R相变可以作为微驱动器的驱动源,并可实现较高频率的驱动(166Hz);另外,加热电流和驱动频率对泵膜的驱动性能均有显著影响.
32.一种测量物体微位移和微振动的全光纤干涉仪
- 王学锋;王向朝;张彩妮;陈高庭
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：提出了一种新的用于测量物体的微位移和微振动的半导体激光全光纤干涉仪,在保持纳米精度的前提下,克服了体光学干涉仪难以用于微小物体微位移和微振动测量的缺点.用此干涉仪,测量了压电陶瓷的振动,测量重复精度为1nm.
33.微结构动态特性测量系统研究
- 张文栋;梅田章;小林健雄
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：研究提出了在不同温度和湿度条件下,DAVIES杆进行微结构动态特性研究的新方法,即,将微结构和一个弹性杆—DAVIES杆置于一个温湿度可调节的环境发生器中,微结构粘贴在DAVIES杆的一端,用高速子弹撞击DAVIES杆的另一端,根据应力计所测应力及应力波在杆内传播的理论模型,可以精确获得微结构所受到的脉冲激励,微结构的响应利用激光位移干涉仪测量,通过输入与输出的拉氏变换,求出微结构的动态响应.文章给出了该方法的基本理论、系统构成,数据处理及结论,其中还较详细地介绍了用于本系统的激光干涉仪的组成特点及其工作原理.
34.一种微型旋翼的设计制作及拉力测试
- 张琛;肖永利
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：利用微细加工技术,设计制作了一种直径仅φ14mm的微型旋翼.该旋翼由直径φ2mm的电磁型微电机驱动,最高转速达21 000r/min.文中还对微型旋翼的拉力作了理论近似计算和实验测量研究.该微型旋翼可在微型飞行器设计制作中应用.
35.基于行为的毫米级微型机器人系统的控制方法
- 曹长江;张琛;李振波
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：利用直径φ2mm的微型马达作为执行器,研制了一种外形尺寸为8mm×6mm×6mm微型机器人.通过对包容结构的扩展,提出一合理的控制结构应用于微型机器人.该控制结构将规划控制和行为控制相结合,利用它们各自的特点来构造微型机器人控制系统.该控制系统既有存储、记忆功能,又能对外部环境的刺激快速响应,同时具有一定的容错能力和柔性.仿真和实验表明该混合控制方法对微型机器人系统很有效.
36.亚微米YBCO薄膜厚度均匀性的EDS测试
- 秦会斌
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：的概念及其二者之间的相互关系,讨论了确定E<,f>的方法,阐述了利用EDS测量纳米薄膜厚度的原理,并具体对YBCO超导薄膜厚度的均匀性给出了测试结果.实验结果表明,该测试方法不但适用于纳米薄膜厚度的测量技术,而且还具有快速、微区和无损的特点.与目前流行的几种纳米薄膜厚度测试方法相比,具有很好的互补性.">给出了采用EDS(电子能量色散谱)测量纳米薄膜厚度的方法.针对电子束入射"薄膜/基片"系统条件下电子束激发X射线的情形,分析了特征X射线产生范围、临界激发能E<,f>的概念及其二者之间的相互关系,讨论了确定E<,f>的方法,阐述了利用EDS测量纳米薄膜厚度的原理,并具体对YBCO超导薄膜厚度的均匀性给出了测试结果.实验结果表明,该测试方法不但适用于纳米薄膜厚度的测量技术,而且还具有快速、微区和无损的特点.与目前流行的几种纳米薄膜厚度测试方法相比,具有很好的互补性.
37.MEMS使用控制开关初探
- 高杨;李枚
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：介绍了使用控制开关的应用背景、基本功能要求,建立了MEMS使用控制开关的结构模型、分析了基本功能单元的工作原理.作者还结合文献报道实例,讨论了引信安全确保应用中MEMS使用控制开关的具体实现方案,指出了使用控制开关对MEMS技术的明确需求.
38.微机械力学性能测试仪的加载机构设计
- 王海容;蒋庄德;尹燕玲;赵则祥
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：讨论了微机械力学性能测试仪的加载机构设计.首先建立了柔性铰链的力学模型,而后建立加载机构的力学模型,运用遗传算法优化结构参数,并运用有限元法对结构进行仿真,进一步优化了加载机构的设计.结果表明,运用遗传算法优化结构参数的方法是有效的.
39.蓝牙无线传感系统接口技术
- 李晓毅;钟先信;巫正中;陈文涛;潘武
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：首先引入了蓝牙无线传感系统及其接口的基本概念,在此基础上重点阐述了蓝牙接口的体系结构、蓝牙接口与传感器/主机之间的物理连接、蓝牙接口的驱动软件栈等技术原理,并结合研究实践提出了蓝牙接口的技术实现途径.
40.表面形貌的亚纳米精度测量
- 钱锋;王向朝;王学锋
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：移相干涉仪是一种通过在参加干涉的光束中制造相位调制来提取波前相位信息的测量技术.在本文中,我们应用四步算法来获得被测波前的相位图.然后利用自适应非线性中值滤波器去除相位图中的噪音,最后通过区域分辨和相位补偿来实现相位的连续化.实验结果表明系统可重复测试精度为亚纳米量级.
41.微振动的纳米精度实时干涉检测
- 王向朝;宋松;王学锋;李代林
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：文章报告了本实验室在微振动纳米精度实时干涉检测方面的研究工作,描述了几种检测系统的测量原理,给出了测量结果.
42.URE-2000/25型紫外光刻机控制系统
- 罗正全;胡松
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：介绍了URE-2000/25型紫外光刻机的整机技术指标以及对控制系统的功能要求;较详细地叙述了控制系统的硬件结构组成及控制软件.此控制系统采用了单片机控制技术,具有电路简单、控制灵活、操作方便、运行可靠、成本低廉等特点.
43.惯性式压电陶瓷驱动器驱动电源研究
- 刘华;颜国正;丁国清
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：研究了一种压电陶瓷驱动器的驱动电源,给出了详细的电路图,分析了如何实现特殊的驱动电源,该驱动电源结构简单,可以产生方波、三角波、正弦波和锯齿波,频率、占空比和电压幅值可以调节,完全满足惯性式压电陶瓷驱动器特殊电源的要求.
44.RF MEMS器件的发展现状
- 徐世六
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.
45.基于硅悬臂梁的纳电子机械技术
- 李昕欣;王跃林;小野崇人;江刺正喜
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术,实现集成纳电子机械器件的制作.基于纳米厚度的硅悬臂梁,开发了超高灵敏度谐振型传感器和微、纳测量仪器.利用制作的十至百纳米厚度硅悬臂梁传感器,成功地测量了碳纳米管储存氢的能力和铁磁性微粒在外加磁场下作用在悬臂梁上的微力.
46.电化学微加工系统的研究
- 刘品宽;曲东升;张秀峰;孙立宁;孙建军;黄海苟;田昭武;夏善红
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术.文章根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发.利用研制的加工仪器,用同一模板,在半导体GaAs进行刻蚀加工,成功地复制出两幅相似三维图形.
47.纳米压入法MEMS材料硬度的测量误差分析
- 赵则祥;蒋庄德;王海容;尹燕玲
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：以体积材料硬度和显微硬度测量与评定原理为基础,介绍了纳米压入法MEMS材料硬度的测量与评定原理.根据纳米压入法MEMS材料硬度的测量原理,对纳米压入仪中的产生硬度测量误差的因素进行了分析.针对Vickers压头,给出了测量仪器、压头和压头与试样表面初始接触点引起的测量误差计算公式.
48.电双稳态纳米薄膜的制备及其热处理效果
- 张群;叶钢锋;王伟军;潘钢;严学俭;章壮健;华中一
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：采用真空热蒸发和大气中后热处理方法制备了具有纳米量级颗粒均匀表面平整的电双稳态Ag-TCNQ薄膜.热处理条件对于制备纳米颗粒度的薄膜至关重要.通过STM针尖施加三角波脉冲作用于薄膜上,在室温大气中实现了在1.2V处使薄膜从高阻态到低阻态,又在2.3V附近使薄膜从低阻态回复高阻态的转变,表明过程是可逆的.
49.纳米TiO<,2>薄膜的制备及光催化活性的研究
- 张云怀;刘仁龙;梁倩倩;张丙怀
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：以玻璃为载体,采用溶胶凝胶法制备纳米晶TiO<,2>薄膜,考察不同制备条件对TiO<,2>晶型结构和光催化活性的影响,结果表明锐钛矿型的TiO<,2>催化活性高于金红石型,且光催化活性与锐钛矿型和金红石型的比例有关.
50.利用多孔硅牺牲层技术制作悬浮薄膜结构研究
- 丁勇;刘泽文;丛鹏;刘理天;李志坚
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：提出了一种将多孔硅牺牲层应用于制作悬浮薄膜结构的方案.采用专用容器在不同浓度的HF溶液生成了多孔硅,并对其质量进行了比较.高浓度的HF溶液中阳极氧化生成的多孔硅孔隙小、容易被碱性溶液腐蚀,适合于作牺牲层材料.采用TMAH(四甲基氢氧化铵)溶液进行释放,获得了镂空的SiO<,2>悬浮薄膜,薄膜面积可达400μm×400μm,该薄膜在制作高性能RF-MEMS器件中有重要用途.
51.光刻剥离技术在MEMS领域的应用研究
- 王蔚;刘晓为;王喜莲;吕慧
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：对在MEMS器件的制作中应用的多种难以腐蚀的金属薄膜,剥离工艺是一种有效的图形制备方法,实验研究了采用铝薄膜作为牺牲层和双层光刻胶韧化两种工艺方法光刻剥离铂薄膜电阻,以及在难以压焊的镍薄膜电阻上,光刻剥离金薄膜制作压焊点的工艺技术,实验表明采用上述工艺方法实现了薄膜光刻剥离,研究结果已在压力-温度多功能传感器和自检测压力传感器的研制中得到应用.
52.纳米技术可能引导一次新的工业革命
- 林鸿溢
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：纳米科学技术是20世纪90年代出现的一门崭新的学科,涵盖很宽的学科领域:纳米物理学、纳米电子学、纳米材料科学、纳米机械学、纳米生物学、纳米医学、纳米显微学、纳米测量学、纳米信息技术、纳米环境工程和纳米制造等.本文讨论纳米技术可能引导一次新的工业革命.
53.约束刻蚀剂层技术用于半导体GaAs抛光整平的研究
- 黄海苟;孙建军;蒋利民;刘品宽;孙立宁;田中群;田昭武
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：简单介绍了现有的一些抛光技术,着重阐述了一种具有高度距离敏感性的抛光整平技术——约束刻蚀剂技术的原理.并利用该技术以光滑的微圆盘电极Pt作模板,对粗糙的GaAs表面进行抛光平整,获得了表面粗糙度为3.5nm的平整表面,显示了该技术作为一种平面抛光手段的潜力.
54.RF MEMS器件的研究
- 缪旻;金玉丰;武国英
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.
55.新型厚胶特性的研究
- 杜惊雷;英国卢瑟福实验室微结构中心;肖啸;英国卢瑟福实验室微结构中心;杨静;英国卢瑟福实验室微结构中心;张怡霄;英国卢瑟福实验室微结构中心;郭永康;英国卢瑟福实验室微结构中心;崔铮;英国卢瑟福实验室微结构中心
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：微光机电系统通常采用紫外或X射线光刻技术制作,不同于一般的集成电路加工,其所用光刻胶之厚度达数十微米以上,因此有必要对用于微光机电系统加工的厚胶进行研究.在本文中,我们对一种新型厚胶——AZ PLP 100XT进行了曝光显影特性的实验研究,给出了该胶特性规律,为使用该胶加工微光学和微机械器件提供了依据,为计算模拟分析光刻加工器件的三维图样提供了保证.
56.微系统中PZT铁电薄膜的制备
- 鲁健;褚家如;黄文浩
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最新进展,并对微系统技术中各种PZT铁电薄膜的制备技术进行了评价.
57.真空压力传感器的硅-硅键合技术研究
- 张正元;杨国渝;温志渝;徐世六;张正番;黄尚廉
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：针对真空压力传感器的硅-硅键合特点,开展硅-硅键合技术研究,得到一种有效的真空硅-硅键合方法,该方法用于真空压力传感器的研制中,有效键合面积达到90﹪以上,为真空压力传感器的研制打下了基础.
58.微系统技术与超高密度信息存储
- 褚家如;黄文浩
- 《第五届全国微米/纳米技术学术会议》 | 2001年
摘要：信息微系统技术已经成为MEMS领域里十分活跃的方向之一,它将对包括信息获取、信息存储和信息传输在内的现代信息技术的广泛领域产生十分重要的影响.比如用于信息获取的微型传感器、用于无线通讯的射频微器件、用于光通讯的微光学开关、用于信息输出的超精细彩色喷墨打印头、和用于下一代信息存储的扫描探针信息存取技术等都有非常重要的应用前景.文章综述了国内外信息存储技术发展现状,系统介绍我们近年来在基于压电微探针阵列的超高密度信息存取技术上所取得的进展.