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孙剑; 赵玉龙; 苑国英; 蒋庄德; 徐敬波;
中国微米/纳米技术学会;
中国仪器仪表学会;
中国机械工程学会;
加速度传感器; 压阻效应; SOI; MEMS;
机译:一种新颖的应力隔离保护环设计,用于改进三轴压阻式加速度计
机译:具有自抵消跨轴灵敏度的六束压阻式加速度传感器
机译:考虑灵敏度,谐振频率和跨轴灵敏度的压阻式加速度计几何形状的分析和设计
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:具有纳米压阻的新型三轴微型耳塞压阻加速度计的设计与优化
机译:评估压阻式加速度计的单轴和三轴冲击隔离技术
机译:高性能三轴压阻式加速度传感器
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
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