机译:高性能单片三轴压阻冲击加速度计
monolithic integration; triaxial accelerometer; high-shock measurement; micromachining; cross-axis sensitivity; sensitivity; resonant frequency; MEMS; SENSORS;
机译:高性能单片三轴压阻冲击加速度计
机译:基于MEMS技术的压阻三轴加速度计的双周期桥检测。
机译:基于MEMS技术的压阻三轴加速度计的设计与测量。
机译:高性能单片三轴高G加速度计
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:单片压阻高g三轴加速度计的制作与表征
机译:评估压阻式加速度计的单轴和三轴冲击隔离技术。