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【2h】

Single-Mask SOI Fabrication Process for Linear and Angular Piezoresistive Accelerometers with On-Chip Reference Resistors

机译：具有片上参考电阻的线性和角度压阻式加速度计的单掩模sOI制造工艺

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E.J. Eklund; A.M. Shkel;
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