法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/18 授权公告日:20150415 终止日期:20171129 申请日:20121129
专利权的终止
2015-04-15
授权
授权
2015-04-15
授权
授权
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/18 申请日:20121129
实质审查的生效
2013-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/18 申请日:20121129
实质审查的生效
2013-03-20
公开
公开
2013-03-20
公开
公开
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机译: 基于带有微刻图的SOI结构的压阻式压力传感器。
机译: 基于带有微刻图的SOI结构的压阻式压力传感器。
机译: 压阻式绝对压力传感器-在压力传感器中安装了柔性硅集成电路电阻器