机译:静电梳齿驱动器的侧向不稳定性问题:建模和反馈控制
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机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:控制MEMS执行器的静电梳状驱动器中的悬浮力并增加其位移
机译:静电梳状驱动器的横向运动控制:建模和传感的新方法
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:建模和静电梳状驱动执行器的特性在导电液体介质
机译:关于MEMS梳状型静电换能器的横向稳定性分析
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。