机译:控制MEMS执行器的静电梳状驱动器中的悬浮力并增加其位移
Electrical and Computer Engineering Department, Boston University, Boston, MA, USA;
Actuators; Capacitance; Electric potential; Electrodes; Force; Levitation; Springs; Comb drive; large deflection electrostatic actuator; position control; position control.;
机译:带双倾斜梳状指和平行四边形梁的MEMS继电器/开关的静电梳状驱动执行器
机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:动态静电梳齿驱动致动器的悬浮补偿方法
机译:静电MEMS梳子驱动致动器垂直悬浮力的有限元分析
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:驱动频率和等效参数对静电线性梳致动器位移幅度的影响
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。