Vertical actuation; Microelectronic circuits; Interferometry; Design; Operation principle; Microfabrication; Levitation effects; Comb fingers; Microengines; Electrostatic comb drives; Vertical micromirror actuators; Capacitive position sensing; Vertical position control;
机译:一种基于新的MEMS基于MEMS的可变电容,使用静电垂直梳驱动致动器和辅助悬臂梁
机译:用于准静态微扫描仪的硅氧烷油阻尼,静电交错垂直梳状型
机译:一种采用单层工艺的新型垂直梳状驱动静电致动器
机译:用于准静态微扫描仪的硅氧烷油阻尼,静电交错垂直梳状型
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:垂直梳齿驱动中边缘场对静电力影响的研究
机译:边缘场对垂直梳齿机静电力影响的研究