具有角度垂直梳状驱动器的MEMS装置

摘要

本发明公开了一种垂直梳状静电驱动器，其用来使微机电微镜装置绕倾斜轴或旋转轴旋转，该梳状驱动器的转子梳齿自微镜装置的子框架延伸，微镜装置包含预应力层，其用来使转子梳齿弯曲至与基底和镜面平台成一角度，使得平台、铰链、转子梳齿和定子梳齿可在同一层中形成，即同一蚀刻步骤。