机译:具有角垂直梳状驱动器的MEMS微镜角立方反射镜的动态响应建模
Angular vertical combdrive; corner cube reflector (CCR); microelectromechanical systems (MEMS); micromirror; nonlinear dynamics;
机译:由自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子两轴常平架倾斜活塞微镜阵列
机译:一种用于扫描微镜的新型自对准垂直静电梳状驱动器
机译:快速扫描微镜垂直梳状驱动器的结构分析
机译:用于扫描微镜的表面和整体微加工角垂直梳齿驱动器
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:电磁MEMS扭转微镜的动态建模与防扰控制考虑车辆潮羊段外部振动
机译:具有角度垂直梳状驱动的mEms微镜角立方反射器的动态响应建模
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计