串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

摘要

采用对比扭转微镜的静电力矩与机械回复力矩随角度的变化规律的方法,对串联电容后,扭转微镜吸合角的变化规律进行了数值仿真和解析分析.结果表明:扭转微镜在保持尺寸参数的前提下,串联电容后,其吸合角增大,系统稳定性提高;串联的电容值不同,扭转微镜的吸合角也不同,且随着串联电容值的增大,吸合角逐渐减小.为扭转微镜在尺寸参数已经固定的情况下,如何扩展其偏转角范围提供了理论指导.