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【2h】

Influence of excitation waveform and oscillator geometry on the resonant pull-in of capacitive MEMS oscillators

机译：激励波形和振荡器几何形状对电容式mEms振荡器谐振吸合的影响

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作者
Juillard Jérome; Arndt Grégory; Arcamone Julien; Colinet Eric;
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年度 2013
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