微机电

摘要： 芯片,可谓是高科技产品的“大脑”,如手机、电脑、数控装备等都离不开它的支撑。然而,芯片不仅用在这些高科技产品上,还可作为人体器官再造的一种载体。人体器官芯片是近几年发展起来的一门前沿生物科技,也是生物技术中极具特色和活力的新兴领域,融合了物理、化学、生物学、医学、材料学、工程学和微机电等多个学科,被誉为“十大新兴技术”之一。

摘要： 传感器的非接触远距探测能有效扩大行业应用领域和不同场景.并藉由规模量产更快实现技术迭代,促使对敏感源增强、弱信号检测、微机电(MEMS)与CMOS工艺兼容、噪声抑制、传感器阵列、多传感融合等技术的集成化发展,构筑"传感信号+算法"的"模式识别"智能,实现即插即用的传感功能模组,推动非接触"人机交互"应用.

摘要： 为抑制激光散斑现象,利用时间平均抑制散斑理论的基本思想,设计了一个具有高透射率、随机相位功能的超表面结构,并结合MEMS技术实现了微纳旋转载台的设计制造,实现了超小型的散斑抑制器件制造.实验结果显示激光散斑对比度可降低至2.63%,满足激光投影领域使用需求.该激光散斑抑制器件使用方法简单、能量利用率高、成本低且易于批量制造.

摘要： 针对传统引信延期解除保险机构结构尺寸大、保险距离短和延时时间散布大等问题,设计了根据弹道实时信息实现延期解除保险的MEMS指令锁延期保险机构.该机构由电推销器,金属簧片式柔性锁臂和活动腔组成,通过弹道实时信息控制电推销器发火,将柔性锁臂推入活动腔,实现延期解除保险的功能.分析了中大口径榴弹引信结构特征和发射内外弹道环境,模拟了电推销器的推力作用过程,利用ABAQUS有限元仿真软件对所设计结构进行仿真分析,对基于UV-LIGA工艺制作的原理样机进行了离心环境试验和电推销器配合试验.仿真和试验结果表明,该机构用于引信MEMS安全保险系统,可保证引信安全状态和可靠解除安全保险状态,且能够根据电路控制电推销器发火实现延期解除保险功能,可保证炮口安全距离和实现在弹道轨迹的不同点解除保险的功能.

摘要： 在近红外(NIR)光谱分析领域,一个将便携性与高性能实验室系统的准确性和功能性组合在一起的系统将极大地改进实时分析性能。一块由电池供电的小型手持式光谱分析仪的开发可以实现对工业过程或食品成熟度的评估进行更有效的监控。多数色散光谱分析测量一开始采用的都是同样的方式。被分析的光通过一个小狭缝,狭缝与一个光栅组合在一起共同控制这个仪器的分辨率。

摘要： 首先,分析了压电能量收集器的产生背景和转化方式.其次,综述了国内外压电能量收集器关键技术的工业应用,列举压电能量收集器在物联网、传感器、生物医学等领域的应用实例.最后,从理论方面、器件设计方面、应用领域方面分析了压电式能量收集器的发展趋势.

摘要： 分别介绍基于微机电MEMS技术的压力传感器、基于陶瓷电容技术的压力传感器和基于硅应变片技术的压力传感器,以及以上3种技术在汽车上的典型应用案例.

摘要： 本文分析了微机电系统的研究内容以及发展趋势,希望能够对该项技术的研究提供一些借鉴.

摘要： 由于电动车及自驾车蓬勃发展，车用芯片、车用传感器市场成长快速，尤其车用雷达、CMOS影像传感器等高价感测模块出货成长突飞猛进，市调机构Yole Developpement预估，车用传感器、微机电（MEMS）市场规模将从2016年的110亿美元，至2022年扩增至230亿美元，市场规模等于成长逾1倍，年复合成长率高达13．7％。

摘要： 本文分析了微机电系统的研究内容以及发展趋势,希望能够对该项技术的研究提供一些借鉴.

摘要： 本研究主要的研究目的为整合微机电制程,用以设计与制作适合直接甲醇燃料电池的圆盘状轻量化集电片.研究中所使用的微机电制程为热蒸镀法,进行圆盘状轻量化单电池与电池组之集电板的开发与制作.文中并探讨九种金属薄膜厚度对于直接甲醇燃料电池的效能影响,研究成果未来可应用至携带式电子产品上.

摘要： 本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.

摘要： 本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.

摘要： 本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.

摘要： 本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.

摘要： 本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

摘要： 本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

摘要： 本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

摘要： 本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.

摘要： 本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分.

摘要： 在这里讨论了如下方面：微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法。该微机电设备可以包括：衬底；机械耦合至该衬底的隔膜，该隔膜包括用以使隔膜弯曲到两个几何稳定位置之一中的应力区；机械耦合至隔膜的致动器，该致动器包括在隔膜之上的压电层；控制器，其被配置成响应于数字声音输入来提供电控制信号；其中该致动器被配置成接收电控制信号来经由压电层将机械压电力施加于隔膜上，以使隔膜移动来创建声波。

摘要： 本公开涉及一种微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法，其中，微机电设备可以包括：衬底；隔膜，安装至衬底；第一电极，安装至隔膜；第二电极，安装至衬底；其中，第一电极与第二电极横向相邻；并且其中，隔膜布置在第一电极和第二电极之间的间隙上方。

摘要： 在这里讨论了如下方面：微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法。该微机电设备可以包括：衬底；机械耦合至该衬底的隔膜，该隔膜包括用以使隔膜弯曲到两个几何稳定位置之一中的应力区；机械耦合至隔膜的致动器，该致动器包括在隔膜之上的压电层；控制器，其被配置成响应于数字声音输入来提供电控制信号；其中该致动器被配置成接收电控制信号来经由压电层将机械压电力施加于隔膜上，以使隔膜移动来创建声波。

摘要： 本公开涉及一种微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法，其中，微机电设备可以包括：衬底；隔膜，安装至衬底；第一电极，安装至隔膜；第二电极，安装至衬底；其中，第一电极与第二电极横向相邻；并且其中，隔膜布置在第一电极和第二电极之间的间隙上方。

摘要： 本发明涉及一种微机电器件的制造方法、微机电器件及微机电器件基底结构，该微机电器件的制造方法包括如下步骤：S1：提供微机电器件基底结构，该微机电器件基底结构包括具有上表面和下表面的衬底，设置在所述衬底的上表面的至少一层停止层及设置在最上层的停止层上的器件层，其中，所述衬底与最靠近所述衬底的一层的停止层为不同材料；S2：首先干法刻蚀衬底，然后湿法腐蚀停止层。由于微机电器件的制造方法在干法刻蚀衬底时，先停留在停止层上，然后，再采用湿法腐蚀工艺腐蚀停止层，从而可在干法刻蚀时，通过停止层增强器件层的强度，避免器件层破损，进而提高成品率，同时又能够满足小尺寸器件制造。

摘要： 本发明提供一种微机电挡片及其制作方法、微机电挡片组件及其制作方法、图像传感器及其制备方法，涉及图像设备领域，用于降低微机电挡片的功耗。微机电挡片包括微机电结构图案。微机电结构图案包括具有开口的支撑结构图案、遮挡部分开口的挡片结构图案、以及连接支撑结构图案与挡片结构图案之间的致动结构图案；挡片结构图案包括两个挡片；微机电挡片具有第一工作模式和第二工作模式；在微机电挡片处于第一工作模式的情况下，致动结构图案带动两个挡片相对移动，以使两个挡片之间有间隔；在微机电挡片处于第二工作模式的情况下，致动结构图案带动两个挡片相对移动，以使两个挡片之间无间隔。微机电挡片用于控制红外辐射信号的透过。

摘要： 本申请公开了一种微机电系统以及具有此微机电系统的电声转换装置，微机电系统包括：第一膜片；第二膜片，与第一膜片相对设置；若干支撑件，支撑件包括若干支撑壁，支撑壁的相对两端分别连接第一膜片和第二膜片，第一膜片、第二膜片与同一支撑件内相邻的两个支撑壁合围形成第一腔室；连通槽，设置在第一膜片上或同时设置于第一膜片和第二膜片上，用于将第一腔室与外部连通。通过设置由若干支撑壁构成的支撑体以及于第一膜片上或同时于第一膜片和第二膜片上设置连通槽，从而增加了第一膜片或第二膜片的柔顺性，同时减少了第一膜片和第二膜片之间的板间电容。

摘要： 本申请提供一种微机电系统声学传感器包括基板、背板、振膜、介电层及连接部。振膜配置于基板与背板之间且包括振动部。介电层形成于基板与振膜之间且具有对应振动部的腔体。连接部位于腔体内且连接振动部与基板。

摘要： 本申请提供一种微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法。微机电系统声学传感器包括一基底、一悬臂结构以及一振膜式传感器。该悬臂结构形成于该基底上，并包括一固定端与一自由悬部从该固定端延伸出。该自由悬部包括一自由端。该自由端与该固定端在该自由悬部的相对端。该自由悬部可在一空洞空间中产生一振波。该振膜式传感器形成于该基底上，并包括一振膜、一背板以及至少一电性接点。该背板与该振膜之间具有一第一空隙。该空洞空间与该第一空隙互相连通。该振膜适于接收该自由悬部产生之该振波。该至少一电性接点电性连接至该背板。

摘要： 本公开涉及微机电系统装置、微机电系统开关及微机电系统集成电路。一种纳米级机电开关形式的集成晶体管消除了CMOS电流泄露并且提高了开关速度。纳米级机电开关以从衬底的一部分延伸到腔中的半导悬臂为特征。悬臂响应于施加到晶体管栅极的电压而弯曲，因此在栅极下方形成导电沟道。当器件关断时，悬臂回到它的静止位置。这种悬臂的移动将电路断开，在栅极下方恢复不允许电流流动的空洞，因此解决了泄露的问题。纳米机电开关的制作与现有的CMOS晶体管制作流程兼容。通过掺杂悬臂并且使用背偏置和金属悬臂末端，可以进一步改进开关的灵敏度。纳米机电开关的面积可以小至0.1x0.1μm