梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析

摘要

研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性.综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系.在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式.