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目录
第一章 绪论
1.1研究背景与选题意义
1.2 微机械陀螺仪发展现状
1.3 课题来源与主要工作内容
第二章 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪理论基础
2.1科氏效应和科氏加速度
2.2 线振动式微机械陀螺仪动力学模型及动力学分析
2.3 微机械陀螺仪的驱动和检测技术
2.4微机械陀螺仪主要性能指标描述
2.5 微机械陀螺仪误差来源分析
第三章 梳状音叉双线振微机械陀螺仪主体结构设计
3.1 结构设计准则
3.2梳状音叉双线振微机械陀螺仪结构及工作原理
3.3弹性支撑梁设计
3.4梳状音叉双线振微机械陀螺仪动力学设计及模态有限元仿真
第四章 梳状音叉双线振微机械陀螺仪结构优化设计仿真
4.1 降低正交误差
4.2 品质因素分析
第五章 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪的制造
5.1 MEMS加工技术
5.2 梳状音叉双线振动硅微机械陀螺仪加工
第六章 总结及展望
6.1论文的主要工作内容
6.2工作展望
致谢
参考文献
攻读硕士期间取得的研究成果