University of California, Berkeley.;
机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:带双倾斜梳状指和平行四边形梁的MEMS继电器/开关的静电梳状驱动执行器
机译:由聚酰亚胺制成的静电梳齿驱动致动器,用于驱动微动转换机构
机译:共振侧向静电梳齿驱动执行器和传感器的理论分析
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:具有高面内平移速度的静电梳状驱动致动器
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。