一种静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器

摘要

一种静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器，包括压力敏感层，谐振结构单元及激励检测结构。其中压力敏感层包含一压力敏感薄片及四个锚区，压力敏感薄片经锚区与谐振结构单元相连。谐振结构单元包括侧梁及谐振梁。静电激励和检测结构包括上端面、固定梳齿、振动梳齿，固定梳齿与上端面连接，振动梳齿与谐振梁相连接，分别用于驱动谐振结构单元发生谐振和检测输出信号。本发明设计的静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器，采用十字形谐振梁、静电梳齿和侧梁结构，提高了传感器的工作稳定性和灵敏度，降低了激励能耗。