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硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究

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摘要

采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素.采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响.在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案.

著录项

来源
《2012年全国压力计量测试技术交流年会》|2012年|35-38|共4页
会议地点北京
作者
XING Weiwei; 邢维巍; PENG Zhenjiang; 彭振江; FAN Shangchun; 樊尚春;
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作者单位

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1:TP206.1;
关键词
硅微谐振式压力传感器; 单端口静电激励-电容检测方法; 激励方式; 精度控制;
入库时间 2022-08-17 11:03:38

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