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许立; 董林玺; 王威;
杭州电子科技大学微电子CAD研究所,浙江,杭州310018;
梳齿; 频率调节; 微谐振器; 有效弹性系数;
机译:静电梳齿驱动微镜,用于激光束扫描和定位
机译:一种替代有效方法(DBEM),用于模拟MEMS梳齿驱动器的静电场和悬浮力
机译:具有二次和三次非线性的微谐振器中多倍频程梳齿阵列的单包络方程建模
机译:具有附加的励磁/检测静电梳齿驱动器的微机械谐振器的非线性振动
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:双极静电致动微束谐振器的力学行为研究和结构设计
机译:一种与喷气发动机微应力相关的静电探针信号分析方法。
机译:用于控制流体流动的微阀,具有静电梳齿驱动器,该梳齿驱动器具有两个梳齿结构,该两个梳齿结构连接到阀壳和带有相互接合的电极组的阀元件
机译:微谐振器,具有这种微谐振器的谐振器传感器,包括至少两个这种微谐振器的传感器阵列以及用于制造这种微谐振器的方法
机译:微谐振器中的可调光频率梳齿发生器
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