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闫金良;
烟台师范学院物理系;
自适应光学; 薄膜变形镜; 静电力驱动;
机译:由基于SOI-MEMS技术的静电梳齿驱动器驱动的微凸轮系统
机译:使用半解析方法的静电梳齿驱动器往复梁弯曲的新分析
机译:通过新型挠曲机构实现的大行程静电梳齿驱动器
机译:带有聚酰亚胺膜的低成本25驱动器静电可变形反射镜,用于自适应光学显微镜
机译:静电梳齿驱动器,用于谐振传感器和执行器应用。
机译:平面外梳齿驱动器空气阻尼的估算
机译:在静电场中梳齿驱动器的偏心齿的偏转
机译:用于mEms可变形反射镜的新型晶圆级薄膜转移技术
机译:带有锥形梳齿的静电梳齿驱动器驱动的带有狭缝表面的镜面反射镜
机译:用于控制流体流动的微阀,具有静电梳齿驱动器,该梳齿驱动器具有两个梳齿结构,该两个梳齿结构连接到阀壳和带有相互接合的电极组的阀元件
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