BONDING; DEFORMABLE MIRRORS; HERMETIC SEALS; INDIUM; MEMBRANES; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; MIRRORS; SEALING; SILICON; SINGLE CRYSTALS; WAFERS; deformable mirror single crystal silicon; membrane transfer wafer-level transfer indium-bonding hermetic sealing;
机译:使用晶圆级焊料转移技术转移金属MEMS封装
机译:低应力含氟聚合物膜制成的大行程MEMS变形镜
机译:大规模的膜转移工艺:在单晶硅连续膜可变形镜中的应用
机译:用于MEMS变形镜的新晶圆级膜转移技术
机译:MEMS变形镜的无限维建模和控制及其在自适应光学中的应用
机译:用于天基高对比度成像的MEMS变形镜
机译:晶圆级真空密封通过将硅盖的转移键合用于小型占地面积和超薄MEMS封装
机译:用于连续膜mEms可变形镜的水转移技术