一种可用于晶圆级测试的具有反射镜功能的光学晶圆和芯片

摘要

本发明涉及一种基于平面光波导技术制作的集成反射镜的晶圆芯片。本发明开发了一种新的基于平面光波导技术晶圆级测试以及制作光学组件的方法。本发明可以实现对晶圆上每一个颗粒芯片的性能进行测试，从而能够在晶圆制造过程的早期建立合格标准、筛选不良，让光学组件如接收器或发射器等建立在合格的颗粒芯片上，这样可以有效提高制作效率，降低物料成本，减少工时浪费。