一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜

摘要

本实用新型公开了一种梯形梳齿，所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度，且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。梯形梳齿设计，其梳齿根部的宽度大于梳齿头部宽度，在保持梳齿平均宽度不变的情况下，可以大幅度增加梳齿根部的刚度；在芯片尺寸一定的情况下，采用本实用新型的梯形状梳齿结构，相较于现有技术中的矩形梳齿结构，可以大幅度提高梳齿驱动器的驱动扭矩、增大驱动角度，或者减小芯片尺寸、降低驱动电压，大幅度提高芯片的技术性能、降低芯片的成本。