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【2h】

Development of an Electrostatic Comb-Driven MEMS Scanning Mirror for Two-Dimensional Raster Scanning

机译：用于二维光栅扫描的静电梳理MEMS扫描镜的开发

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期刊名称 Micromachines
作者
Qiang Wang; Weimin Wang; Xuye Zhuang; Chongxi Zhou; Bin Fan;
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作者单位

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年(卷),期 2021(12),4
年度 2021
页码 378
总页数 14
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词

机译：二维光栅扫描;静电梳理驱动致动器;真空操作;机械耦合;残余应力;同阶段;超阶段;参数共振;

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