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机译:真空微电子器件集成的制造方法
机译:微电子学和传感器技术功能器件形成过程中碳纳米管的平行集成方法
机译:非平面微电子器件上的聚酰亚胺涂层:通过新的“倒装式”背面蚀刻方法表征真空干燥效果
机译:基于微机电系统的真空计,用于测量小型真空微电子设备中的压力和排气速度
机译:使用常规半导体工艺制造真空微电子器件的开发进展
机译:真空微电子器件的设计,制造和建模。
机译:将石墨烯集成到微电子设备中
机译:THz真空微电子器件
机译:利用真空微电子技术开发硬化装置的初步研究。