碳纳米管冷阴极在真空微电子器件中的应用

摘要

本文以碳纳米管为主线，综述了冷阴极材料的研究进展以及碳纳米管冷阴极在真空微电子器件中的应用。，并对目前存在的问题做了分析，对今后的发展趋势做了适当的预测和展望。