国外微电子器件制造中的成品率管理方法综述

摘要

综述了国外微电子器件成吕率提高的三个阶段和成品率损失的原因分析，介绍了国外成品率预测模型的研究及利用测试结构对影响成品率的缺陷进行监测和查找的情况，进而讨论了微电子器件制造中的成品率管理方法。