多层硅外延中自掺杂现象研究

摘要

cqvip:本文主要对多层硅外延自掺杂现象的进行科学研究,并分析了不同工艺处理条件对其自掺杂现象的影响,提出几点改善措施,期望对相关多层硅自掺杂现象研究人员有帮助。