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杨帆; 马梦杰; 金龙; 王银海;
南京国盛电子有限公司 南京211111;
硅外延; 衬底; 自掺杂; 衬底电阻率;
机译:蓝宝石衬底上掺silicon硅层的异质外延
机译:勘误:掺硼硅衬底上外延生长的硅双晶中的错配位错
机译:掺硼硅衬底上外延生长硅双晶的错配位错
机译:氟对掺砷非晶硅和多晶硅外延生长的影响,氯对掺砷多晶硅外延生长的影响
机译:通过金属有机气相外延在蓝宝石和块状氮化铝衬底上生长的掺硅氮化铝镓和紫外发光二极管的复合动力学
机译:集成低电容二极管的掺砷高电阻率硅外延层
机译:多波长拉曼光谱在快速热退火过程中非接触监测硅衬底上掺硼外延Si1-xGex双层中Ge和B的扩散
机译:衬底取向对金属有机气相外延生长Gasb生长速率,表面形貌和硅掺入的影响
机译:在重掺杂硅衬底上外延沉积硅层的工艺
机译:在重掺杂硅衬底上外延沉积硅层
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