用反向补偿原理解决硅CVD外延自掺杂效应

摘要

对自掺杂机理进行了分析研究，并采用逆向补偿原理￣［１］对吸附－解吸、滞流后静态－动态转换等进行了工艺优化及技术简化，在通常条件下有效地控制了自掺杂。