硅CVD外延自掺杂效应的分析研究

摘要

本文首先对自掺杂机理进行了分析。并采用反向补偿原理，吸附－解吸、滞流层静态－动态转换等，对工艺进行优化，在通常条件下有效地控制了自掺杂。