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张涛; 李国卿;
不详;
计算机模拟; 离子注入; 离子注入机; 离子能量分布;
机译:离子能量对离子注入机遭受高能轰击的类金刚石碳膜降解的影响
机译:通过高电流密度离子注入机对氮离子注入和等离子体源离子注入对铝和铬进行表面改性
机译:使用大电流离子注入机进行的高精度〜(180)Hf离子注入
机译:使用可变能量RFQ离子注入机的高能量铝离子注入
机译:通过等离子源离子注入,在微电子应用中基于能量离子的金属氮化物扩散势垒沉积和注入。
机译:HfO2 / SiO2叠层隧道电介质的SiN薄膜中离子注入能量对Ge纳米晶体合成的影响
机译:一种新型等离子体浸没离子注入机控制与自动化分布式系统
机译:在真空电弧离子注入机中用高电荷态离子进行高能注入
机译:离子注入机,离子注入机的内部结构以及在离子注入机中形成涂层的方法
机译:监视离子注入机的方法和具有用于执行该离子注入机的阴影夹具的离子注入机
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