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张丛; 卓祖亮; 武文杰;
北京中科信电子装备有限公司,北京 101111;
离子注入机; 离子能量; 射频;
机译:离子能量对离子注入机遭受高能轰击的类金刚石碳膜降解的影响
机译:单晶片式超高能离子注入机S-UHE
机译:间歇式超高能离子注入机
机译:使用可变能量RFQ离子注入机的高能量铝离子注入
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:高能量密度材料的探索:基于1245-四氢1245-四嗪的高能衍生物的计算洞察
机译:真空弧离子注入机中具有高电荷 - 状态离子的高能植入
机译:在真空电弧离子注入机中用高电荷态离子进行高能注入
机译:高能离子注入机的离子注入方法
机译:用于将离子束作为能量束照射到板上的能量束辐照系统,即离子注入机,当支撑件分别位于板接收区域时,具有在工作台和支撑件之间转移板的臂
机译:离子注入机,离子注入机的内部结构以及在离子注入机中形成涂层的方法
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