探讨DF－4离子注入机在生产实践中的离子速率分布函数和最概然速率

摘要

介绍了DF－4离子注入机的基本原理，从理论上推导出狭缝里吸出来的离子的速率分布函数和最概然速率，并结合工作实际讨论离子速率分布函数和最概然速率的变化对吸极电流、束流、质谱等的影响。