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上海交通大学学位论文答辩决议书
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目录
第一章绪论
1 .1前言
1 .2 等离子体增强化学气相沉积
1 .3选题的缘由与目的
第二章大马士革铜互连球状缺陷的形成机制
2 .1铜污染所形成的球状缺陷
2 .2前道工序残留应力所形成的球状缺陷
2 .3微小颗粒所形成的球状缺陷
2 .4本章小结
第三章大马士革铜互连球状缺陷失效机理
3 .1球状缺陷引起漏电的失效机理
3 .2前道工序残留应力引起的空洞失效机理
3 .3本章小结
第四章球状缺陷引起漏电的优化实验
4 .1实验准备
4 .2应用材料公司的氮化硅薄膜沉积程式
4 .3 氮化硅薄膜的表征
4 .5实验优化设计
4 .6本章小结
第五章氮化硅薄膜沉积工艺中对氨等离子预处理的优化
5 .1工艺参数对球状缺陷的影响
5 .2工艺参数的进一步优化
5 .3本章小结
第六章氮化硅薄膜沉积工艺中对氮化硅预沉积的优化
6 .1工艺参数对球状缺陷的影响
6 .2氮化硅沉积薄膜优化后的实际应用
6 .3本章小结
第七章前道工序残留应力的优化
7 .1 前道工序残留应力的影响…-应力迁移
7 .2前道工序残留应力的分析
7 .3前道工序残留应力的改善措施
7 .4前道工序残留应力改善措施的结果分析
7 .5本章小结
第八章总结
参考文献
致谢
攻读学位期间发表的学术论文