CVD coatings; copper; electric breakdown; integrated circuit interconnections; integrated circuit metallisation; integrated circuit reliability; CMP scratches; CVD film sacrificial layers; Cu; TDDB lifetime; TDDB reliability; air-gap interconnects; dual damascene pr;
机译:气隙铜互连的牺牲CVD膜回蚀工艺
机译:铜双大马士革互连在低k多孔膜上的直接化学机械抛光工艺
机译:在低k有机膜中量身定制的通孔形状控制的铜双大马士革互连的工艺设计方法
机译:使用常规CVD薄膜作为牺牲层的空气间隙Cu互连的双镶嵌工艺
机译:镶嵌处理的铜互连中电迁移失败的机制。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:相邻段对Cu双镶嵌互连可靠性的影响