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FSI国际公司; 大马士革联盟; 铜导线双镶嵌; 清洗技术;
机译:基于水的单晶片Cu / Low-k清洗工艺表征并集成到双镶嵌工艺流程中
机译:铜双大马士革互连工艺中的铜空隙改善
机译:建设低环境负荷型铜接触面清洗工艺-开发实现铜表面清洁稳定的环保清洗技术
机译:铜双镶嵌工艺中的铜清洗
机译:电迁移增强了无铅焊点中铜-锡金属间化合物的动力学,并使用分步和闪光压印光刻技术进行了铜低k双大马士革工艺。
机译:具有贯通硅过孔的铜双大马士革结构中的电迁移失败
机译:pVa刷洗涤对大马士革铜互连Cmp后清洗工艺的影响
机译:铝稳定NbTi超导线材的工艺和成本优化评估铝稳定NbTi超导线材的包覆技术
机译:铜双镶嵌工艺的清洗方法
机译:利用双大马士革技术形成铜塞的方法
机译:多级集成电路是通过自对准双大马士革工艺制造的,该工艺仅在覆盖的金属化级线的位置提供停止层
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