inner spacer; gate-all-around (GAA); nanowire; nanosheet; field effect transistor; nanostructure manufacture; high anisotropy; high etch selectivity;
机译:栅全纳米晶体管中氮化硅内隔离物的研究
机译:硅太阳能电池氮化硅上沟槽形成的非热常压等离子体工艺条件研究
机译:反向侧壁隔离层和内部偏移氧化物工艺可在100 nm栅极长度下实现出色的2位氧化硅-氮化物-氧化硅存储
机译:低温氮化硅隔片工艺提高了性能
机译:等离子体-表面相互作用在过程化学中的作用:α-碳氮化物沉积和硅的氟化硫/氧蚀刻的机理研究。
机译:电场辅助在硅纳米晶体管中形成界面双供体分子
机译:栅全纳米晶体管中氮化硅内隔离物的研究
机译:反应键合氮化硅在加工过程中形成多孔表面层