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氮化硅涂层与硅熔体间浸润性研究

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摘要

氮化硅涂层是多晶硅铸锭必不可少的脱模剂,氮化硅涂层与硅熔体间保持良好的非浸润性是保证硅锭从坩埚内壁顺利脱模的关键.本文重点研究氮化硅涂层在铸锭过程中浸润性的变化.结果显示,氮化硅涂层的碳化是导致氮化硅涂层与硅熔体间非浸润性降低,从而导致氮化硅涂层失效的主要原因,氮化硅涂层的成分以及铸锭过程的压力条件可显著影响氮化硅涂层的碳化.

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来源
《第13届中国光伏大会》|2013年|83-88|共6页
会议地点北京
作者
尹长浩; 周海萍; 周绪成; 张兆玉; 黄新明;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.05;
关键词
多晶硅; 铸锭工艺; 氮化硅涂层; 硅熔体; 浸润特性;

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