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声明
1 绪论
1.1 立题背景
1.2国内外多晶硅材料的生产工艺和发展现状
1.3铸造多晶硅中的主要杂质及其对电池性能的影响
1.3.1轻元素杂质对电池性能的影响
1.3.1 金属杂质对电池性能的影响
1.4防止坩埚对多晶硅铸锭污染的方法
1.4.1 新式坩埚
1.4.2无坩埚铸造技术
1.4.3坩埚表面涂层技术
1.5本文研究的主要目的及内容
2涂层设计与制备
2.1概述
2.2涂层材料的选择
2.2.1涂层固体粒子
2.2.2涂层溶剂
2.3氮化硅涂层制备及结果分析
2.3.1 实验材料和制备方法
2.3.2 实验结果分析-悬浊液的优化选择
2.4本章小结
3氮化硅涂层的脱模效果研究
3.1 概述
3.2实验设备与实验方法
3.2.1实验设备
3.2.2实验步骤
3.3实验结果与分析
3.3.1宏观脱模效果观察
3.3.2 SEM观察铸锭表面形貌
3.3.3熔炼条件对脱模效果影响
3.3.4涂层悬浊液成分对脱模效果影响
3.3.5预烧处理对脱模效果影响
3.4本章小结
4氮化硅涂层对冶金法提纯多晶硅的影响
4.1 概述
4.2实验设备与实验方法
4.2.1实验设备与材料
4.2.1实验步骤
4.2实验结果
4.2.1 铸锭组织观察和ICP成分结果
4.2.1 SEM和EPMA观察断面形貌和成分
4.2.1少数载流子寿命分析结果
4.3实验分析与讨论
4.3.1氮化硅涂层反应机制研究
4.3.2氮化硅涂层对杂质的扩散及其沉淀的影响
4.3.3氮化硅涂层对多晶硅组织的影响
4.3.4氮化硅涂层对多晶硅电学性能影响
4.4本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢