Clarkson University.;
机译:新型α-胺官能化二氧化硅基分散体,用于在化学机械抛光过程中在二氧化硅,氮化硅或铜上选择性抛光多晶硅和Si(100)
机译:聚二烯丙基二甲基氯化铵在二氧化硅和氮化硅膜上多晶硅选择性抛光中的作用
机译:用于在二氧化硅和多晶硅膜上选择性抛光氮化硅的新型磷酸盐官能化二氧化硅基分散体
机译:化学机械平面化实现低二氧化硅和高氮化硅去除的新型浆料
机译:用于微电子应用中的多晶硅,二氧化硅和氮化硅膜化学机械抛光的新型浆料配方和相关机理。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:二氧化硅,氮化硅和多晶硅膜的可调去除速率