机译:聚二烯丙基二甲基氯化铵在二氧化硅和氮化硅膜上多晶硅选择性抛光中的作用
机译:用于在二氧化硅和多晶硅膜上选择性抛光氮化硅的新型磷酸盐官能化二氧化硅基分散体
机译:利用核诱导固相结晶在大晶粒尺寸多晶硅膜上形成的三维薄膜晶体管氧化硅-氮化物-氧化硅-硅存储单元
机译:pH和温度对抛光速率和二氧化硅和氮化膜选择性的影响
机译:化学机械抛光过程中可调节的二氧化硅,氮化硅和多晶硅膜的去除率。
机译:嵌入氮化硅薄膜中的硅量子点与金纳米粒子在发光器件中的耦合增强了电致发光
机译:氮化硅/ SiO 2封端的(100)硅上的LPCVD多晶硅膜中的热诱导结构电导率
机译:在冷基板硅上沉积单晶硅,二氧化硅和氮化硅的研究