新型多晶硅锭坩埚涂层用氧氮化硅粉体的合成

摘要

氧氮化硅与氮化硅相比,具有相似的物理化学性质,但其抗热震性、抗氧化性、化学稳定性更优,而且据称它相对氮化硅不易于被硅熔体润湿,更易于脱模,故而成为一种较有前途的新型多晶硅铸锭坩埚内壁涂层材料.本研究组采用包括回收硅锯屑粉在内的多种晶体硅粉为原料进行气固反应合成实验研究,调节气相中氧氮比例,初步实现晶体硅粉的同步氧化与氮化,形成氧氮化硅.球磨晶体硅粉在氧氮比为1:9条件下保温3h所得氧氮化硅含量约为87.4％;在优化装填结构的条件下,回收硅锯屑粉所得合成产物氧氮化硅含量约94％.