scatterometry; optical; metrology; diffract; CD; shallow; trench; STI;
机译:65nm以下低功耗互补金属氧化物半导体技术通过优化浅沟槽隔离工艺来改善浅沟槽隔离应力
机译:65nm以下低功耗互补金属氧化物半导体技术通过优化浅沟槽隔离工艺来改善浅沟槽隔离应力
机译:具有凹陷浅沟槽隔离图案的N型金属氧化物半导体场效应晶体管的过程诱导应力研究
机译:浅沟槽隔离(STI)过程计量散射测定法
机译:先进的浅沟槽隔离(STI)CMP工艺和消耗品的特性。
机译:浅层滑坡破坏过程中地表倾斜的研究
机译:VLSI浅沟渠隔离中提出结构特性的仿真分析