SOI横向NPN管耐压结构研究

摘要

针对RESURF原理在横向NPN管中的应用，介绍了目前国内外流行的三种横向NPN管结构，并从其耐压特性、各自的优缺点和工艺实现等方面，进行了详细的分析对比，为以后的应用打下基础。