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电子束抗蚀剂在光掩模制造工艺中的应用

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电子束抗蚀剂是微细加工工艺中极具发展潜力的一种抗蚀剂.本文介绍了在微细加工工艺中应用电子束抗蚀剂在光掩模制造中的关键步骤及目前常用的几种电子束抗蚀剂,分析了电子束抗蚀剂的特性及其应用于光掩模加工工艺中应注意的问题.

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来源
《第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2005年|113-116|共4页
会议地点长沙
作者
段小楠;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束抗蚀剂; 微细加工工艺; 光掩模;

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