公开/公告号US10090153B2
专利类型
公开/公告日2018-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ULTRATECH INC.;
申请/专利号US201715598763
申请日2017-05-18
分类号H01L21/20;H01L21/36;H01L33;H01L21/02;H01L21/268;B23K26/12;H01L29/20;B23K26/03;B23K26/073;B23K26/122;C23C16/56;H01L21/324;C23C16/22;B23K103;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:04:42