公开/公告号US10566434B2
专利类型
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 IMEC VZW;
申请/专利号US201715853136
发明设计人 GEERT HELLINGS;
申请日2017-12-22
分类号H01L29/423;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/165;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/321;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:29:39