鳍式场效应晶体管的制造方法、鳍式场效应晶体管

摘要

一种鳍式场效应晶体管的制造方法、鳍式场效应晶体管，所述制造方法包括：提供衬底；在衬底上依次形成半导体层、介质层；图形化所述介质层形成第一开口；在所述第一开口的侧壁上形成侧墙，所述侧墙和所述第一开口的底部围成第二开口；去除所述第二开口露出的半导体层直至露出衬底，形成第三开口；向所述第三开口中填充绝缘材料，形成绝缘层；去除介质层，以所述侧墙为掩模去除所述侧墙露出的半导体层，形成鳍部。所述鳍式场效应晶体管包括衬底，位于衬底上的多个鳍部、位于鳍部之间的绝缘层，覆盖于所述鳍部、绝缘层及衬底上的栅极层。本发明可以减少鳍部损伤。